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2022年前三季度13类主要半导体设备进口减少

2022年前三季度13类主要半导体设备进口减少

据海关信息网公布,2022年前三季度13类主要半导体设备进口26908台、125.56亿美元,同比分别减少20.6%和1%。其中:等离子体干法刻蚀机和化学气相沉积设备二类设备进口额达到59.82亿美元,占13半导体设备进口总额的47.6%引线键合机等6项设备进口额减少。

2022年1-9月13类主要半导体设备进口数据

 

进口数量(台)

同比增长

进口额

(万美元)

同比增长

硅单晶炉

131

47.2%

11,605.97

78.5%

研磨机

668

50.5%

29,479.07

24.3%

切割设备

953

-31.6%

20,894.79

-12.2%

化学机械抛光机CMP

338

13.0%

45,263.27

8.4%

氧化扩散炉

1424

-3.0%

138,759.84

-5.6%

化学气相沉积设备CVD

1297

-12.5%

295,659.64

-8.7%

物理气相沉积设备PVD

554

5.7%

89,649.78

23.0%

分步重复光刻机

231

-22.2%

112,411.54

50.4%

等离子体干法刻蚀机

1183

-18.2%

302,492.31

-8.8%

离子注入机

2326

707.6%

83,262.03

25.7%

塑封压机

221

-27.3%

11,050.15

-17.0%

引线键合机

12491

-45.5%

80,593.35

-27.3%

集成电路工厂专用自动搬运机器人

5091

72.7%

34,484.03

8.2%

合  计

26908

-20.6%

1,255,605.77

-1.0%