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电科装备:离子注入机跑出交付“加速度”

电科装备:离子注入机跑出交付“加速度”

中电科电子装备集团有限公司(以下简称“电科装备”)今年向用户交付了三台离子注入机,今年交付第三台离子注入机跑出了交付的“加速度”。过去一年,电科装备累计新签设备数量创下历史新高,同比增长近70%,在不同工艺、不同应用领域多点开花并获得重复订单

离子注入机是集成电路芯片制造的关键设备,研制难度极大。为全力攻克这一难题,研发团队通过成千上万次模拟实验,夜以继日的在线验证,自主研制出中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,成功实现我国集成电路制造领域全系列离子注入机自主创新发展。

(电科装备)