电科装备：离子注入机跑出交付“加速度”

中电科电子装备集团有限公司（以下简称“电科装备”）今年向用户交付了三台离子注入机，今年交付了第三台离子注入机，跑出了交付的“加速度”。过去一年，电科装备累计新签设备数量创下历史新高，同比增长近70%，在不同工艺、不同应用领域多点开花并获得重复订单。

离子注入机是集成电路芯片制造的关键设备，研制难度极大。为全力攻克这一难题，研发团队通过成千上万次模拟实验，夜以继日的在线验证，自主研制出中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，成功实现我国集成电路制造领域全系列离子注入机自主创新发展。

（电科装备）