主要半导体设备国产化率

设备种类

国产化率

市场规模（亿元）

薄膜沉积设备

＜20%

497

光刻机

＜1%

474

刻蚀设备

＞20%

474

量/检测设备

＜5%

249

清洗设备

＞30%

113

涂胶显影设备

＜10%

90

CMP设备

＞30%

68

热处理设备

＞30%

56

离子注入设备

＜10%

45