泓浒半导体：集成电路设备核心部件真空传送平台通过客户验证

泓浒半导体：集成电路设备核心部件真空传送平台通过客户验证

弘浒(苏州)半导体科技有限公司（简称“泓浒半导体”）研制的真空传送平台（VTM）应用在晶圆蚀刻、沉积（CVD、PVD、ALD）等真空工艺制程，由于工艺环境要求严苛，需要传送设备VTM达到超高真空度、超低振动、耐腐蚀、耐高温等要求，该平台及核心部件真空搬运机器人(V-ROBOT)等核心部件曾长期被外资厂商垄断。

为解决VTM国产化，泓浒半导体经过多年努力，完成了VTM平台和包括真空传送机器人、真空校准器VPA、前端真空腔VCE、LPT等部件的国产化开发，并在客户端验证通过。

（来自：泓浒半导体）