北方华创: 发布12英寸去胶机，实现去胶工艺全覆盖

北方华创: 发布12英寸去胶机，实现去胶工艺全覆盖

近日，北方华创科技集团股份有限公司（简称：“北方华创”）发布12英寸去胶机ACE i300，开拓12英寸刻蚀领域全新版图。去胶工艺作为刻蚀工艺的一种，光刻胶在完成图形复制和传递作用后能否去除干净直接影响到后续工艺是否能够进行，甚至关系到器件的性能。ACE i300主要应用于12英寸存储、逻辑、图像传感器等领域的去胶工艺，以优异的性能表现，实现刻蚀后去胶（post etch strip）、离子注入后去胶（post implant strip）、去残胶（descum）、表面处理（surface treatment）等去胶工艺全覆盖。

（来自：北方华创）