四项电子专用设备获2023年度国家科学技术奖励

编号

项目名称

主要完成单位

国家技术发明一等奖

F-312-1-01

集成电路化学机械抛光关键技术与装备

清华大学

完成人：路新春、建斌、王同庆、赵德文、何永勇、刘宇宏

国家技术发明二等奖

F-312-2-05

新型显示器件高分辨率喷印制造技术与装备

华中科技大学，武汉国创光电装备有限公司，武汉精测电子集团股份有限公司，TCL华星光电技术有限公司，武汉天马微电子有限公司

国家科技进步二等奖

J-216-2-01

大容量锂离子电池精准制造核心技术与装备

华中科技大学，深圳市赢合科技股份有限公司，深圳市比亚迪锂电池有限公司，上海空间电源研究所，深圳市信宇人科技股份有限公司，深圳市浩能科技有限公司，湖北亿纬动力有限公司

国家科技进步二等奖

J-216-2-06

面向高性能芯片的高密度互连封装制造关键技术及装备

广东工业大学，大族激光科技产业集团股份有限公司，广东佛智芯微电子技术研究有限公司，安捷利美维电子(厦门)有限责任公司，深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司，广东阿达半导体设备有限公司