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上海精测:中标长江存储集成式膜厚量测仪

 

据悉,精测电子控股子公司上海精测半导体技术有限公司(以下简称:上海精测)中标长江存储的3台集成式膜厚光学关键尺寸量测仪。

上海精测以椭圆偏振技术为核心,在 1 年多时间内开发了适用于半导体工业级应用的膜厚测量以及光学关键尺寸测量系统,包括集成式膜厚测量机、集成单 / 双模块膜厚测量机、高性能膜厚及 OCD 测量机等产品。近日实现3台来自长江存储的集成式膜厚光学关键尺寸量测仪订单,表明上海精测已具备晶圆制造环节的膜厚量测设备重复、批量供应能力。

(来自:与非网)