盛美上海：湿法设备4000腔顺利交付

盛美上海：湿法设备4000腔顺利交付

3月6日，盛美半导体设备(上海)股份有限公司（简称：盛美上海）又迎来重要里程碑——湿法设备4000腔顺利交付。盛美上海于2021年10月顺利交付湿法设备2000腔，2022年11月突破3000腔，如今4000腔的里程碑也已达成。盛美的清洗设备可以做逻辑与存储90%以上的清洗工艺，将实现湿法设备突破5000腔。”                                 （来自：爱集微）