电子专用工艺生产设备和电子测量仪器

电子专用工艺生产设备和电子测量仪器是电子信息产品生产的基础手段和技术支撑，同时也是国防科研及国防工程配套的重要组成部分。电子信息产品制造业固定资产投资的60%-70%用于购置电子专用工艺生产设备和电子测量仪器。因此，该项目是电子信息产品发展的基础和重要保证。

当今的电子专用工艺生产设备集成了精密机械、光学、计算机、新材料、光电子等诸多高新技术，与生产工艺的结合日趋紧密，设备中工艺物化成分和自动化程度越来越高，大大减少了人为因素对设备的干扰，产品更新换代加快，新技术不断涌现。集成电路设备加工精度已进入深亚微米、12英寸片径；随着片式元器件、新型显示器件和新型电源种类的增多，新型元器件加工设备的品种越来越多；表面贴装设备正向多功能、高精度、高效率发展，贴片机精度已达到±0.02mm以上，速度达0.06s/个以上。

1、半导体和集成电路专用设备

8～12英寸集成电路关键芯片制造设备，8～12英寸集成电路关键封装设备及专用模具，8～12英寸集成电路材料制备设备，硅基、化合物、宽禁带半导体关键制造设备；

2、新型显示器件专用设备

TFT-LCD关键制造设备，高亮度LED关键制造设备，PDP关键真空制造设备；

3、电子整机装联专用设备

SMT全自动精密贴片机、SMT全自动精密印刷机、SMT自动光学检测设备（AOI），新型、无铅化焊接设备；

4、新型电子元器件专用设备

新型电力电子器件关键制造设备，微小型片式元器件关键制造设备，敏感元器件和传感器（包括光纤传感器）关键制造设备，高频频率器件关键制造设备，小型锂离子二次电池、太阳能电池（含薄膜太阳能电池）关键制造设备，新型电子元器件专用模具，新型印制电路板关键制造设备，高密度高可靠LTCC基础制造设备；

(资料来源：科技部网站 发布时间  2008.5.8)