2008年3月4日，48所MOCVD项目传出消息：该所的大容量MOCVD反应器设计取得了新突破。

该项目组设计的新型大容量MOCVD反应器继承了喷淋式反应器的特点。喷淋头的有效直径达340mm，单面微孔15000个，可批量处理2英寸LED外延片30片。同时，该项目成员利用Fluent软件对设计的反应器流场进行了仿真，模拟结果显示：“罩”式结构和合理的间距有效消除了漩涡的产生；喷淋头与衬托器较短间距的设计抑制了热浮力的产生，提高了气流场的稳定性和均匀性。

据项目组成员介绍，预计采用此设计的大容量MOCVD反应器生长的薄膜厚度均匀性可控制在3％以内，可满足LED外延片大批量生产的需要。

                                    （资料来源：48所）