近日在某知名公司和北京七星华创电子股份有限公司双方技术人员的共同努力下，由北京七星华创所生产的具有国内自主知识产权的PECVD设备在太阳能电池片生产线中取得良好的实际收效。

受到该知名公司一致赞誉的PECVD设备主要用于在156mm×156mm方片上淀积Si3N4薄膜工艺，是太阳能电池生产线上的关键设备，该设备由炉体机柜、升降工作台、电气控制柜、气路系统、真空系统、石英管反应室、装片舟、压力控制系统和RF电源等组成。采用工作站实行了全自动控制；并具有高精度的压力控制系统。通过该设备在单/多晶硅基底上所生长的减反射膜，在片内、片间和批间的均匀性和一致性都达到了国际同类产品水平。

                                                       （资料来源：七星华创）