电科装备湖南红太阳:研制出五管PECVD性能达到国际领先水平(2017-12-13)



电科装备湖南红太阳:研制出五管PECVD性能达到国际领先水平

近日,中电科电子装备集团有限公司湖南红太阳光电公司成功研制出高产能五管PECVD,同时完成两代产品的迭代升级并实现量产,得到了市场广泛的认可。

该高产能五管PECVD设备内的石墨舟由原来的308/舟提升到416/舟,产能由1800/小时提升到3600/小时,单台产能可达100MW,相比上一代产品产能提高了整整一倍;炉管由原来的4管升级到5管,设备的工艺的稳定性、可靠性及工艺效果达到国际领先水平。新设备在同等产能的情况下,单片工艺成本直接下降15%,不仅可为用户减少30%以上的资金投入,而且还能减少净化车间占地面积的50%。同时设备具有信息化程度高、多台设备组网、远程工艺监控等特性,能全面满足智能、自动化程度更高的市场需求。

(来自:电科装备)