45所:激光划片机、全自动高温强酸腐蚀机二项设备通过鉴定(2017-12-13)



45所:激光划片机、全自动高温强酸腐蚀机二项设备通过鉴定

1117日,在中国电子科技集团公司组织支持下,由中国电子科技集团公司地四十五研究所自主研发的JHQ-410D激光划片机和全自动高温强酸腐蚀机通过了科技成果鉴定。

JHQ-410D激光划片机应用于玻璃纯化二极管(GPP)工艺为代表的4英寸分立器件晶圆的划片。该设备具备底部对准功能,实现了GPP晶圆的正对背划,颠覆了晶圆需要双面光科、背面对准、背面划切得传统工艺,使得加工流程简单、生产成本显著下降,设备达到了国际GPP激光晶圆划片机的先进水平。该设备已获申报3项发明专利,1年多来已实现销售2500万元,具有较好的市场推广价值,经济效益显著。

全自动高温强酸腐蚀机用于LED芯片生产中图形化衬底制备工艺(PSS),该设备通过高温湿法蚀刻,实现了对高品质蓝宝石衬底材料表面进行几何形状的粗化,破坏光线在材料内部的全反射,设备采用全封闭式耐腐蚀结构设计,废气处理率达到95%以上,设备主要技术指标达到了国内同类设备领先水平,与国际同类设备水平相当。该设备已获申报2项发明专利,并已实现销售30台。