北方华创微电子:12英寸立式氧化炉进入长江存储(2017-12-13)



北方华创微电子:12英寸立式氧化炉进入长江存储

1130日,北京北方华创微电子装备有限公司(以下简称:北方华创微电子)自主研发的12英寸立式氧化炉THEORIS O302 进入长江存储生产线,应用于3D NAND Flash制程,扩展了国产立式氧化炉的应用领域。

THEORIS O302立式氧化炉具有先进的颗粒控制技术、高精度温度场控制技术、先进的微环境氧含量控制技术、后期维护费用低等特点,具备12英寸晶圆干氧氧化、湿氧氧化、DCE氧化等工艺能力,主要应用于LOGICDRAMNAND等产品工艺制程,成为客户的PORProcess of Record)机台(扩产优先采购机台)。

  THEORIS O302立式氧化炉是北方华创微电子的一款成熟产品,已批量应用于中芯国际、上海华力芯片生产线,本次THEORIS O302 立式氧化炉设备Move in长江存储生产线,表明北方华创微电子集成电路立式氧化炉产品获得了市场广泛认可,为国产集成电路装备商业化应用踏出了又一个坚实的步伐。

(来自:北方华创)