北方华创微电子:首台8英寸金属刻蚀设备进入中国最大代工厂(2017-12-13)



北方华创微电子:首台8英寸金属刻蚀设备进入中国最大代工厂

1122日,北方华创科技集团股份有限公司下属子公司北京北方华创微电子装备有限公司(以下简称:北方华创微电子)自主研发的国内首台8英寸金属刻蚀设备进入中国最大代工厂生产线,为国产高端装备在国内集成电路芯片生产线的应用再添新秀,是国产高端装备应用工艺的又一次重要突破。

北方华创微电子推出的产品为NMC508M Metal Etch设备,应用于8英寸0.13μm及以下技术代Al金属刻蚀工艺。Al金属刻蚀是集成电路制程中的一道重要工艺步骤,广泛用于存储器及逻辑产品中。NMC508M Metal Etch设备是北方华创微电子基于多年在集成电路刻蚀设备技术积累基础上,针对终端用户的需求进行了设备的深度定制开发,在8英寸传统刻蚀技术基础上集成应用了多项12英寸刻蚀设备的先进技术,关键技术指标达到国际先进水平。

(来自:北方华创)