中科信:45-22nm低能大束流离子注入机研发及产业化项目通过测试(2017-9-24)



中科信:45-22nm低能大束流离子注入机研发及产业化项目通过测试

    近日。由北京中科信电子装备有限公司承担的“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大项目(02专项)“45-22nm低能大束流离子注入机研发及产业化“项目在上海集成电路研发中心通过现场测试,课题整体验收将于今年完成。该设备是国内首台应用在高端集成电路生产线的大束流离子注入机,技术指标处于国内领先水平。

 (来自:电科装备)