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华海清科:首台12英寸封装减薄贴膜一体机发往用户

华海清科:首台12英寸封装减薄贴膜一体机发往用户

6月12日,华海清科股份有限公司(简称“华海清科”)研制的首台12英寸封装减薄贴膜一体机Versatile–GM300出机发往国内头部封测企业,该机是华海清科继在先进封装领域推出的又一关键核心产品。

该机采用新型布局,可灵活实现薄型晶圆背面超精密研削与干式抛光应力去除功能,搭配晶圆贴膜机联机使用,可为8/12英寸晶圆安全可靠地提供从精密减薄、清洗干燥到粘贴料环、背膜剥离的全流程自动作业,满足高端封装领域的薄型晶圆生产工艺技术需求。

该机依托先进的厚度均匀性控制技术,可实现片内均匀性TTV<1.0μm,达到了国内领先和国际先进水平。此外,该产品具有高精度、高刚性、工艺开发高灵活性等优点,可广泛应用于封装领域中的晶圆背面减薄、BG/DC倒膜等工艺。

(来自:华海清科)