东方晶源：引领国内电子束量测检测发展

东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司（简称：“东方晶源”）已先后成功推出EBI电子束缺陷检测设备，CD-SEM关键尺寸量测设备（12英寸和6&8英寸），DR-SEM电子束缺陷复检设备，占据电子束量测检测三大主要细分领域，产品多样化和产品成熟度走在前列。同时，经过持续的迭代研发，三大产品线全力升级、性能指标进一步提升，引领国内电子束量测检测产业高速发展。电子束量检测是半导体量检测领域的主要技术之一，在半导体制程不断微缩，光学检测对先进工艺图像识别的灵敏度逐渐减弱的情况下，发挥越来越重要的作用。电子束量检测设备对于检测的精度、可适用性、稳定性、吞吐量等要求很高，其研发和设计非常具有技术挑战性。

（来自：半导体行业观察）