微导纳米：超大宽幅卷对卷ALD装备重复订单量产交付

微导纳米：超大宽幅卷对卷ALD装备重复订单量产交付

近日，江苏微导纳米科技股份有限公司（简称：“微导纳米”）超大宽幅卷对卷ALD装备顺利交付，并通过量产验证。 微导纳米的卷对卷镀膜装备是在柔性/可延性基板上完成的纳米膜制备，可以用在锂电池隔膜、薄膜电池、柔性光伏组件、光学膜、生物医药等应用领域。

微导纳米基于空间型ALD开发的大型卷对卷镀膜装备，解决了工艺稳定和优化维护保养。新一代宽幅≥1.5m、稳定超高阻隔性工艺设备的推出，提升了我国柔性领域高端装备技术的国际竞争力。

微导纳米开发的卷对卷设备，还能为柔性钙钛矿电池提供新的工艺解决思路，借由成熟的卷对卷ALD平台，储备开发适合柔性钙钛矿工艺的电子传输层氧化锡和柔性封装的产业化装备。

（来自：微导纳米）