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第二十五届中国专利奖协会会员单位获奖项目发布
第二十五届中国专利奖协会会员单位获奖项目发布
2024年12月23日，国家知识产权局根据《中国专利奖评奖办法（2023年修订）》《国家知识产权局关于评选第二十五届中国专利奖的通知》规定，发布第二十五届中国专利奖预获奖项目，经公示后，协会会员单位获奖项目如下。
第二十五届中国专利银奖协会会员单位获奖项目
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专利号 |
发明专利名称 |
专利权人/发明人 |
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ZL201010246628.1 |
化学机械抛光机及具有 它的化学机械抛光设备 |
华海清科股份有限公司 路新春、许振杰、何永勇、王同庆、沈攀、赵德文、梅赫赓、张连清、裴召辉、雒建斌 |
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ZL201510218357.1 |
一种化学气相沉积装置 及其清洁方法 |
中微半导体设备(上海)股份有限公司、南昌中微半导体设备有限公司 杜志游、幸沛锦、范文远、姜银鑫 |
第二十五届中国专利优秀奖协会会员单位获奖项目
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专利号 |
发明专利名称 |
专利权人/发明人 |
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ZL201410032274.9 |
螺旋形磁控管及磁控溅射设备 |
北京北方华创微电子装备有限公司 杨玉杰、李强、邱国庆、白志民、王厚工、丁培 军、吕峰 |
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ZL201410063219.6 |
一种反应腔室及等离子 体加工设备 |
北京北方华创微电子装备有限公司 李兴存、韦刚、李东三、管长乐、邱明达、赵隆 超、宋铭明 |
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ZL201910161037.5 |
一种掩模台及光刻系统 |
上海微电子装备(集团)股份有限公司 蔡晨、王鑫鑫、齐芊枫 |
（来自：国家知识产权局）