连城数控：8吋碳化硅电阻式长晶炉获得数十台批量验收

连城数控：8吋碳化硅电阻式长晶炉获得数十台批量验收

近日，大连连城数控机器股份有限公司（简称：“连城数控”）研制的8吋碳化硅（SiC）电阻式长晶炉（型号：PVT-RS-40）在客户现场完成批量验收。与此同时，连科半导体还成功制备出了直径超210毫米，厚度30毫米的8吋导电型碳化硅晶体，晶体表面光滑无缺陷。

据介绍，连城数控的8吋碳化硅电阻式长晶炉，通过石墨电阻发热，热辐射传导石墨坩埚进行加热，可调整石墨加热器的结构，有效的进行分区功率控制和温场的控制，更适合生长大尺寸的碳化硅晶体。连城数控表示，液相法技术在细分领域的优势逐步凸显，尤其适用于生长P型碳化硅衬底，不仅可以实现生长低位错密度、高品质的碳化硅晶片，还能显著提升碳化硅晶片的生产成品率并降低成本。

（来自：连城数控）