电科装备：光伏电池制造关键设备取得新突破

电科装备：光伏电池制造关键设备取得新突破

中电科电子装备集团有限公司（简称：电科装备）下属红太阳光电公司自主研制的国内首台叠舟等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备，近日成功发货。

作为光伏电池制备的重要工序，常规PECVD镀膜设备的市场竞争日趋激烈，主流设备急需高产能、低成本、高稳定性、高工艺品质的新设备机型打破市场竞争格局。红太阳光电以自研PECVD镀膜设备为基础，对设备产能、成本、能耗、稳定性、工艺可靠性等深研一步，跳出传统的单管单层舟设计思路，推出新型大管径高产能叠舟PECVD镀膜设备。

据介绍，该设备打破市面常规设备反应室结构，创新采用双舟叠放设计，单管载片量大幅提升，反应室的空间利用率提升至50%。

（来自：电科装备）