北方华创：薄膜设备成功打入氢能燃料电池市场

北方华创：薄膜设备成功打入氢能燃料电池市场

近日，北方华创科技集团股份有限公司（简称：“北方华创”）自主研发的eArctic系列阴极电弧复合磁控溅射镀膜设备，在氢能燃料电池行业的领军企业成功实现稳定量产。

北方华创通过创新研发非贵金属材料涂层工艺，成功推出了高效稳定的氢能燃料电池双极板eArctic AS-MAG系列单体式镀膜设备及eVerizon VL系列连续式镀膜设备。这两款设备凭借自有的GISETCH气体离子刻蚀及辅助沉积技术、4G-CAE第四代阴极电弧技术以及泰坦涂层工艺技术，显著提升了涂层性能并降低了生产成本，为氢能燃料电池的产业化发展扫清了障碍。该技术巧妙地利用了气体离子源（GIS）来处理双极板涂层。在涂层前，通过GIS将氩气和氢气离化，并借助偏压对双极板表面进行刻蚀清洗，确保其洁净度。在涂层过程中，GIS进一步将氮气、氧气、乙炔等反应气体离化，与磁控溅射靶镀膜沉积技术相结合，优化了膜层的形成。此外，针对双极板易氧化的特性，该技术能激活工件表面的氧化层，使镀制的膜层更为致密光滑，并显著提升膜基结合力，从而有效减少了因膜层缺陷导致的氢能燃料电池耐久性下降的问题。

当前，北方华创的eArctic AS-MAG及eVerizon VL系列镀膜设备，已全面覆盖氢能燃料电池金属双极板从研发至大规模生产的各项需求，其连续线设备的年产能高达100万片以上。这些设备已通过氢能行业领先企业的工艺验证，并稳定量产。

（来自：氢云链）