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中国电子专用设备工业协会
源卓微纳：TSM-10L精密图形化曝光机通过科技成果鉴定
2025年4月8日，由长三角太阳能光伏技术创新中心组织，中国电子专用设备工业协会主持，在苏州市源卓微纳科技（苏州）股份有限公司召开了由源卓微纳公司研制的 “TSM-10L精密图形化曝光机”科技成果鉴定会。专家鉴定委员会听取了该设备的研制报告并审查了该设备检测、查新、用户使用等报告，审阅了图纸等相关技术文件，考察了使用现场。专家鉴定委员会一致同意该设备通过科技成果鉴定。
盛美上海：单晶圆高温SPM设备通过验证
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