雷博微电子：再创高端前道Track设备交付新纪录

雷博微电子：再创高端前道Track设备交付新纪录

5月20日，江苏雷博微电子设备有限公司（简称：“雷博微电子”）自主研发的3台全自动匀胶显影机（Track）正式发往客户产线！此次三台设备的批量交付，标志着国产半导体设备在核心技术成熟度与市场规模化应用的双重突破。

该设备凭借其卓越性能，可广泛应用于：IC芯片、LED、化合物半导体、射频芯片、MEMS、Bumping等多个领域。已深度适配Canon、Nikon等主流光刻机，实现光刻—显影全流程自动化闭环控制，减少人为干预。该设备还搭载了自主研发的控制软件，支持定制化设计。能实现工艺数据实时分析，关键参数趋势可视化，快速定位工艺瓶颈；能对历史数据回溯，加速客户良率分析与工艺迭代。

（来自：雷博微电子）