四方仪器：突破“卡脖子”技术 实现微量气体分析仪国产替代

四方仪器：突破“卡脖子”技术 实现微量气体分析仪国产替代

四方光电股份有限公司旗下全资子公司——四方光电（武汉）仪器有限公司（简称“四方仪器”）成功攻克半导体设备关键部件“微量气体分析仪”的国产化难题。依托自主气体传感器技术平台，公司推出多款核心产品，打破国外垄断。

SiF4/WF6红外传感器：应用于CVD薄膜沉积设备，精准监测腔室清洁过程中的SiF4/WF6浓度，优化清洁终点判断；

微量氧分析仪：用于RTP快速退火炉，实时监测残余氧含量，提升工艺控制精度；

微水分析仪：集成于CVD设备，精准检测腔室水汽残留，保障沉积工艺稳定性。

目前，上述产品已在国内半导体设备中批量应用，实测性能达到国际同类产品水平，标志着我国在高精度气体分析领域实现自主可控。

（来自：四方仪器）