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2022年13类主要半导体设备中国大陆进口金额同比减少8.1％
2022年13类主要半导体设备中国大陆进口金额同比减少8.1％
2023年1月20日，海关统计数据在线查询平台公布了2022年13类主要半导体设备进口32458台，同比减少30.8％，进口金额156.81亿美元，同比减少8.1％。
2019年-2022年13类半导体设备进口金额年均增长率为23.3％
2022年，等离子体干法刻蚀机和化学气相沉积设备(CVD)进口额仍然是进口金额最大的二类集成电路制造设备，占13类主要半导体设备进口总金额的51.9％。
2022年，分步重复光刻机进口金额增长最快，同比增长23.9％。有5类半导体设备进口金额减少超过二位数，其中引线键合机2022年进口金额减少42.0％.
2022年13类主要半导体设备中国大陆进口数据表
|
进口额排序 |
设备名称 |
进口量（台） |
进口金额(万美元) |
||
|
2022年 1-12月 |
同比增长％ |
2022年 1-12月 |
同比增长％ |
||
|
1 |
等离子体干法刻蚀机 |
1599 |
-17.8 |
374439.8 |
-12.7 |
|
2 |
化学气相沉积设备(CVD) |
1683 |
-14.5 |
373144.7 |
-11.9 |
|
3 |
氧化、扩散、退火及其它热处理炉 |
1844 |
-4.9 |
172538.2 |
-9.6 |
|
4 |
分步重复光刻机 |
336 |
-17.2 |
141427.6 |
23.9 |
|
5 |
物理气相沉积设备(PVD) |
772 |
-0.9 |
110241.5 |
4.6 |
|
6 |
离子注入机 |
2425 |
531.5 |
106153.3 |
16.3 |
|
7 |
引线键合机 |
13899 |
-55.4 |
91971.1 |
-42.0 |
|
8 |
化学机械抛光机(CMP) |
467 |
12.3 |
62180.8 |
3.2 |
|
9 |
集成电路工厂专用自动搬运机器人 |
6967 |
54.0 |
44165.9 |
10.9 |
|
10 |
研磨机 |
811 |
32.5 |
37505.9 |
13.4 |
|
11 |
切割设备 |
1210 |
-46.6 |
26956.9 |
-18.2 |
|
12 |
硅单晶炉 |
165 |
31.0 |
13791.1 |
31.1 |
|
13 |
塑封压机 |
280 |
-29.8 |
13541.0 |
-22.0 |
|
|
总 计 |
32458 |
-30.8 |
1568057.8 |
-8.1 |