至纯科技/中微公司/盛美上海：订单量稳步增长

至纯科技/中微公司/盛美上海：订单量稳步增长

2023年以来，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（简称：至纯科技）、中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称：中微公司）、以及盛美半导体设备(上海)股份有限公司（简称：盛美上海）均披露了其2022年年度报告。数据显示，上述厂商的营收及利润不仅在2022年实现了大幅增长，同时其销售订单量亦持续增加。

至纯科技：新增订单42.19亿元，同比增长30.62%

2022年度，至纯科技实现营业收入30.5亿元，同比增长46.32%；实现归母净利润2.82亿元，同比增长0.24%；扣非后归母净利润2.85亿元，同比大增76.03%。2022年度，公司新增订单42.19亿元，同比增长30.62%，其中半导体制程设备新增订单18.00亿元，同比增长60.71%。至纯科技预计，2023年，公司预计年度新增订单区间在52-57亿元，制程设备订单区间为20-25亿元。

中微公司：等离子体刻蚀设备市占率提高，已在5纳米芯片生产线等批量销售

2022年，中微公司实现营收47.4亿元，同比增长52.5%；实现归母净利润11.7亿元，同比增长15.66%；扣非后归母净利润9.19亿元，同比大增183.44%。2022年，中微公司新签订单金额约63.2亿元，同比增加约53%，订单销售比达到1.33。

财报显示，近年来中微公司等离子体刻蚀设备市场占有率不断提高，在国际最先进的5纳米芯片生产线及下一代更先进的生产线上均实现了多次批量销售。数据显示，2022年刻蚀设备收入为31.47亿元，较2021年增长约57.07%，毛利率达到47.00%。

至2022年底，中微公司累计已有3311个等离子体刻蚀和化学薄膜的反应台，在国内、亚洲和欧洲的106条生产线全面实现了量产和大量重复性销售。

盛美上海：半导体设备需求不断增加，销售订单持续增长

2022年度盛美上海实现营业收入28.73亿元，同比增长77.25%；实现归母净利润6.68亿元，同比增长151.08%；扣非后归母净利润6.7亿元，同比大增254.27%。

据官方介绍，盛美上海在2022年获得了大量批量订单，并成功将立式炉管ALD设备推向国内的两家关键客户；首台具有自主知识产权的涂胶显影Track设备Ultra LITHTM成功出机，顺利向国内客户交付前道ArF工艺涂胶显影Track设备，并将于2023年推出i-line型号设备，已开始着手研发KrF设备。

（来自：全球半导体观察）