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2023年1季度13类主要半导体设备进口额同比减少24%

2023年1季度13类主要半导体设备进口额同比减少24%

根据海关统计数据查询平台公布,2023年1-3月13类半导体设备进口6102台,同比减少36.0%、进口金额335666.44亿美元,同比减少24.0%。

其中,化学气相沉积设备CVD、等离子体干法刻蚀机、氧化扩散炉、分布重复光刻机和物理气相沉积设备PVD,1-3月进口金额位居前五位。13类半导体设备中,只有研磨机和集成电路工厂专用自动搬运机器人进口金额增长,其它设备全部负增长,其中引线键合机进口金额减少最大,

2023年1-313类半导体设备进口数据表

税号8486

商品名称

数量

同比增长%

进口金额

(万美元)

同比增长%

2021

化学气相沉积设备CVD

334

-27.1

92899.49

-9.1

2041

等离子体干法刻蚀机

237

-44.9

61383.50

-36.0

2010

氧化扩散炉

386

-22.6

51059.38

-0.1

1020

分步重复光刻机

61

-7.6

23873.1

-47.1

2022

物理气相沉积设备PVD

125

--39.0

23637.18

-15.2

2050

离子注入机

72

-41.0

22851.86

-22.7

4031

集成电路工厂专用自动搬运机器人

2993

113.0

13892.65

16.3

1022

研磨机

135

-63.8

12356.15

48.9

1040

化学机械抛光机CMP

90

-32.8

12299.74

-42.8

2031

引线键合机

1202

-77.6

9385.12

-73.0

1030

切割设备

348

-0.9

7220.15

-12.1

4021

塑封压机

82

22.4

2547.40

-25.2

1010

硅单晶炉

37

-28.8

2361.75

-56.9

 

总  计

6102

-36.0

335666.44

-24.0