万瑞：半导体设备两批核心部件低温产品成功交付用户

近日，安徽万瑞冷电科技有限公司（简称：“万瑞”）自主研制的半导体设备核心部件两批低温产品通过专家检测评审，成功交付客户使用。

低温真空泵（冷泵）是获得清洁高真空环境的关键设备。长期以来，大口径低温泵主要依赖国外进口，关键技术受制于人。万瑞新一代1250mm口径低温真空泵在抽速、抽气容量和渡越容量等关键性指标达到国外先进性能水平，顺利出厂，交付客户使用。

多通道低温传输管线主要用于低温冷站与超导终端之间输送液氦、液氮等低温流体，是实现装置超导运行的核心装备之一。近日，万瑞多套多通道低温传输管线顺利出厂。

（来自：万瑞）