搜索

相关新闻

2023年加入协会会员(5月31日止)

中国电子专用设备工业协会

地址:北京市复兴路49号

电话:010-688 60519

传真:010-68865302

邮箱:bgs@cepea.com

10.29 拓荆科技: PE-ALD设备量产,Thermal-ALD客户端验证

拓荆科技: PE-ALD设备量产,Thermal-ALD客户端验证

拓荆科技股份有限公司(简称:拓荆科技)近期在接受机构调研时表示,公司研制的ALD设备系列产品包括PE-ALD设备和Thermal-ALD设备,PE-ALD设备已实现量产,可以沉积SiO2、SiN等介质薄膜材料,Thermal-ALD设备已出货至不同客户端进行验证,可以沉积Al2O3等金属化合物薄膜;SACVD和HDPCVD设备均已实现产业化。拓荆科技将持续保持产品核心竞争优势,不断扩大量产应用规模。在混合键合设备的进展方面,拓荆科技表示,晶圆对晶圆键合产品(Dione 300)已通过客户验收,并获得了重复订单,芯片对晶圆键合表面预处理产品(Pollux)已出货至客户端验证

(来自:半导体之窗)