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盛美上海:公司现阶段已有清洗设备、镀铜设备、炉管设备等产品

盛美上海:公司现阶段已有清洗设备、镀铜设备、炉管设备等产品

盛美半导体设备(上海)股份有限公司(简称:盛美上海)披露投资者关系活动记录表显示,公司现阶段已有清洗设备、镀铜设备、炉管设备、PECVD、Track等产品,公司希望进行组合性、连贯性的测试。首先对硅片进行清洗,再通过炉管及PECVD完成镀膜,而后通过Track与光刻机的对接,完成涂胶、曝光、显影,然后进入实验线的刻蚀设备进行干法刻蚀,再进行去胶清洗。

公司还配备SP7颗粒检测器及其他量测设备对各个工艺步骤进行检测验证。该项目目的就是可以在一条线上串联公司的五大产品,进行模拟生产线inline的测试,加快公司对各类设备的开发验证,缩短在客户端的测试验证时间。

(来自:格隆汇)