北方华创：实现PVD设备工艺全覆盖

北方华创：实现PVD设备工艺全覆盖

北方华创科技集团股份有限公司（简称：北方华创）作为中国PVD（物理气相沉积）工艺装备技术的开拓者，已发布多款量产型PVD设备，累计出货超千腔，成为国内PVD设备最大的解决方案提供商。

北方华创先后突破了磁控溅射源设计、等离子体产生及控制、腔室设计与仿真模拟、颗粒控制、软件控制等多项关键技术，实现了设备的产业化及对逻辑芯片和存储芯片金属化制程的工艺覆盖。截至2023年底，集成电路领域Cu（铜）互连、Al Pad（铝垫层）、Metal Hardmask（金属硬掩膜）、Metal Gate（金属栅）、Silicide（硅化物）等工艺设备在客户端的稳定量产，成为多家客户的基线设备，并均已成为行业优选。          （来自：北方华创）