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2023年13类主要半导体设备中国大陆进口金额同比增长15.1％
2024年1月20日，海关统计数据在线查询平台公布了2023年13类主要半导体设备进口28099台，同比减少13.4％，进口金额180.58亿美元，同比增长15.1％。
2023年，化学气相沉积设备(CVD)和等离子体干法刻蚀机进口额仍然是进口金额最大的二类半导体制造设备，占13类主要半导体设备进口总金额的51.3％。
2023年，化学气相沉积设备(CVD)进口金额增长最快，同比增长31.1％。引线键合机、硅单晶炉和塑封压机等三类半导体设备进口金额分别减少44.6%、39.9%和32.1%。
2023年13类主要半导体设备中国大陆进口数据表
|
进口额排序 |
设备名称 |
进口量（台） |
进口金额(万美元) |
||
|
2023年 1-12月 |
同比增长％ |
2023年 1-12月 |
同比增长％ |
||
|
1 |
化学气相沉积设备(CVD) |
1780 |
5.8 |
487,502.6 |
30.6 |
|
2 |
等离子体干法刻蚀机 |
1476 |
-7.7 |
439,609.8 |
17.4 |
|
3 |
氧化、扩散、退火及其它热处理炉 |
1735 |
-5.9 |
181,008.9 |
4.9 |
|
4 |
分步重复光刻机 |
296 |
11.9 |
165,587.9 |
17.1 |
|
5 |
物理气相沉积设备(PVD) |
638 |
-17.4 |
140,595.0 |
27.5 |
|
6 |
离子注入机 |
425 |
-82.5 |
133,163.2 |
25.4 |
|
7 |
化学机械抛光机(CMP) |
413 |
-11.6 |
66,601.4 |
7.1 |
|
8 |
引线键合机 |
8847 |
-36.3 |
50,935.6 |
-44.6 |
|
9 |
集成电路工厂专用自动搬运机器人 |
10412 |
49.4 |
49,568.6 |
12.2 |
|
10 |
研磨机 |
616 |
-24.0 |
43,595.0 |
1062.4 |
|
11 |
切割设备 |
1175 |
-2.9 |
30,119.7 |
11.7 |
|
12 |
塑封压机 |
190 |
-32.1 |
9,194.2 |
-32.1 |
|
13 |
硅单晶炉 |
96 |
-41.8 |
8,285.5 |
-39.9 |
|
|
总 计 |
28099 |
-13.4 |
1,805,767.4 |
17.7 |
2023年化学气相沉积设备发货地情况表（进口额前五名）
|
|
新加坡 |
韩国 |
日本 |
美国 |
马来西亚 |
|
数量(台) |
495 |
167 |
380 |
309 |
64 |
|
进口额(万美元) |
261326.3 |
58864.1 |
46797.8 |
43601.5 |
25918.9 |
2023年化学气相沉积设备等进口收货地情况表（进口额前五名）
|
|
广东省 |
上海市 |
浙江省 |
山东省 |
安徽省 |
|
数量(台) |
236 |
232 |
213 |
134 |
143 |
|
进口额(万美元) |
88063.4 |
72851.3 |
53825.2 |
52853.4 |
50179.0 |
2023年等离子体干法刻蚀机进口发货地情况表（进口额前五名）
|
|
日本 |
马来西亚 |
中国台湾 |
美国 |
韩国 |
|
数量(台) |
456 |
184 |
151 |
366 |
76 |
|
进口额(万美元) |
151413.5 |
132553.0 |
61171.0 |
36448.2 |
26671.9 |
2023年离子体干法刻蚀机进口收货地情况表（进口额前五名）
|
|
安徽省 |
山东省 |
湖北省 |
广东省 |
北京市 |
|
数量(台) |
163 |
121 |
158 |
130 |
140 |
|
进口额(万美元) |
84098.4 |
66047.9 |
57488.7 |
52598.4 |
50473.9 |
2023年氧化扩散炉发货地情况表（进口额前五名）
|
|
日本 |
美国 |
新加坡 |
德国 |
韩国 |
|
数量(台) |
1088 |
207 |
87 |
93 |
87 |
|
进口额(万美元) |
95245.5 |
41133.3 |
23425.7 |
10109.3 |
5755.3 |
2023年氧化扩散炉收货地情况表（进口额前五名）
|
|
广东省 |
上海市 |
安徽省 |
浙江省 |
北京市 |
|
数量(台) |
227 |
255 |
138 |
202 |
135 |
|
进口额(万美元) |
30037.0 |
23473.2 |
20611.7 |
19957.9 |
19899.0 |
2023年分步重复光刻机发货地情况表（进口额前二名）
|
|
荷兰 |
日本 |
其它 |
|
数量(台) |
49 |
179 |
68 |
|
进口额(万美元) |
121391.7 |
41943.5 |
2252.7 |
2022年分步重复光刻机收货地情况表（进口额前五名）
|
|
上海市 |
江苏省 |
北京市 |
浙江省 |
广东省 |
|
数量(台) |
69 |
87 |
25 |
54 |
14 |
|
进口额(万美元) |
76269.5 |
36951.3 |
22606.4 |
9557.6 |
7607.8 |
（数据来自海关统计数据在线查询平台）