晶盛机电：推出差异化创新性电池设备

浙江晶盛机电股份有限公司（简称：晶盛机电）子公司晶盛光子专注于太阳能领域的高端装备研发及制造，产品获得客户的广泛认可，将应用于TOPCon/BC等多种电池技术。

据晶盛光子负责人介绍，公司电池设备在产能、性能、工艺创新性等方面实现差异化。其中PECVD设备采用小管径双管结构，设计了独特的细丝炉体，使效率分布更加收敛；同时开发出了可替代高温硼扩散的BSG工艺及原位硼掺杂的硅沉积工艺。LPCVD设备采用细丝炉体和多回路控温的方式，使腔内热场分布更加均匀，Poly-Si沉积膜厚均匀性已超业内水平。ALD设备采用独特的进气方式，减少气体行程，加快气体交换，提高薄膜均匀性。另外，干洗平台设备借助成熟的半导体干法清洗技术，更易刻蚀去除石墨舟表面沉积的Poly-Si/SiNx/SiOx/硼掺杂薄膜等材料；且设备占地面积小，清洗流转速度快，舟清洗效果一致性好，简化了太阳能产业中繁琐的载具清洗流程。

 （来自：原创 能源一号）