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中国电子专用设备工业协会
晶盛机电:推出差异化创新性电池设备
晶盛机电:推出差异化创新性电池设备
浙江晶盛机电股份有限公司(简称:晶盛机电)子公司晶盛光子专注于太阳能领域的高端装备研发及制造,产品获得客户的广泛认可,将应用于TOPCon/BC等多种电池技术。
据晶盛光子负责人介绍,公司电池设备在产能、性能、工艺创新性等方面实现差异化。其中PECVD设备采用小管径双管结构,设计了独特的细丝炉体,使效率分布更加收敛;同时开发出了可替代高温硼扩散的BSG工艺及原位硼掺杂的硅沉积工艺。LPCVD设备采用细丝炉体和多回路控温的方式,使腔内热场分布更加均匀,Poly-Si沉积膜厚均匀性已超业内水平。ALD设备采用独特的进气方式,减少气体行程,加快气体交换,提高薄膜均匀性。另外,干洗平台设备借助成熟的半导体干法清洗技术,更易刻蚀去除石墨舟表面沉积的Poly-Si/SiNx/SiOx/硼掺杂薄膜等材料;且设备占地面积小,清洗流转速度快,舟清洗效果一致性好,简化了太阳能产业中繁琐的载具清洗流程。
(来自:原创 能源一号)