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2024年1季度13类主要半导体设备进口额同比增长45.6%

2024年1季度13类主要半导体设备进口额同比增长45.6%

根据海关统计数据查询平台公布,2024年1-3月13类半导体设备进口6440台,同比增长5.5%、进口金额48.89亿美元,同比增长45.6%。

其中,化学气相沉积设备(CVD)、等离子体干法刻蚀机1-3月进口金额仍位居前两位,同比增长在50%以上的有:物理气相沉积设备(PVD)离子注入机、化学机械抛光机(CMP)化学气相沉积设备(CVD)

分步重复光刻机、集成电路工厂专用自动搬运机器人、塑封压机、研磨机等四类设备进口金额出现负增长,其中分步重复光刻机进口金额减少最大。

2024年1-313类半导体设备进口数据表

税号8486

商品名称

数量

同比增长%

进口金额

(万美元)

同比增长%

1010

硅单晶炉

24

-35.1

2,776.58

9.0

1020

研磨机

199

47.4

11,939.96

-3.3

1030

切割设备

272

-21.8

8,352.38

15.7

1040

化学机械抛光机(CMP)

101

12.2

19,962.14

62.3

2010

氧化扩散炉

439

13.7

52,850.80

3.5

2021

化学气相沉积设备(CVD)

430

28.7

144,819.03

55.9

2022

物理气相沉积设备(PVD)

163

30.4

52,117.05

120.5

2031

分步重复光刻机

53

-15.1

14,094.91

-40.9

2041

等离子体干法刻蚀机

334

40.9

112,480.30

83.4

2050

离子注入机

159

120.8

45,545.99

99.3

4021

塑封压机

31

-62.2

1,789.52

-29.7

4022

引线键合机

2524

110.0

13,571.71

44.6

4031

集成电路工厂专用自动搬运机器人

1711

-42.8

8,562.28

-38.4

 

总  计

6440

5.5

488,862.63

45.6