中微公司Primo D-RIE®作为首台设备顺利搬入客户生产线

2023年12月28日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）刻蚀设备Primo D-RIE®顺利付运国内优秀的集成电路制造及研发设计服务商——广州增芯科技有限公司（以下简称“增芯”），本次交付的Primo D-RIE®也是该客户12英寸智能传感器及特色工艺晶圆生产线建成后搬入的首台设备。

此次付运的12英寸双反应台多反应腔主机系统Primo D-RIE®，专为优化产量而设计，可以配置多达三个双反应台反应腔，每个反应腔既可以独立操作，又可以同时加工两片晶圆。凭借在大规模生产中稳定可靠的性能表现、较低的生产成本、较高的生产效率和卓越的芯片加工性能，Primo D-RIE®已获得众多全球领先的芯片制造商的认可与肯定。

中微公司持续拓展和优化刻蚀设备产品线，以满足客户日益严苛的技术需求。除Primo D-RIE®双反应台刻蚀设备以外，CCP刻蚀设备系列还包括双反应台刻蚀设备Primo AD-RIE®、单反应台刻蚀设备Primo SSC AD-RIE®、Primo HD-RIE®和刻蚀及除胶一体化的Primo iDEA®。

  （来自：中微公司）