盛美上海：公司现阶段已有清洗设备、镀铜设备、炉管设备等产品

盛美半导体设备（上海）股份有限公司（简称：盛美上海）披露投资者关系活动记录表显示，公司现阶段已有清洗设备、镀铜设备、炉管设备、PECVD、Track等产品，公司希望进行组合性、连贯性的测试。首先对硅片进行清洗，再通过炉管及PECVD完成镀膜，而后通过Track与光刻机的对接，完成涂胶、曝光、显影，然后进入实验线的刻蚀设备进行干法刻蚀，再进行去胶清洗。

公司还配备SP7颗粒检测器及其他量测设备对各个工艺步骤进行检测验证。该项目目的就是可以在一条线上串联公司的五大产品，进行模拟生产线inline的测试，加快公司对各类设备的开发验证，缩短在客户端的测试验证时间。

（来自：格隆汇）