中科飞测：量检测设备覆盖28nm及以上制程产线

　　深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称：“中科飞测”或“公司”）专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，产品线涵盖无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备、套刻精度量测设备等系列产品，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。

1）无图形晶圆缺陷检测设备：公司量产设备型号已覆盖2Xnm及以上工艺节点客户需求，1Xnm工艺节点检测需求的型号设备研发进展顺利。2）图形晶圆缺陷检测设备：公司图形晶圆缺陷检测设备与国际竞品整体性能相当，已在国内知名客户产线上与国际竞品实现无差别使用。具备三维检测功能的图形晶圆缺陷检测设备已在客户端进行产线工艺验证，进展顺利。3）三维形貌量测设备：公司三维形貌量测设备能够支持2Xnm及以上制程工艺中的三维形貌测量。4）薄膜膜厚量测设备：根据2023年8月投资者调研纪要，公司多台金属膜厚量测设备已完成客户验证。5）套刻精度量测设备：应用在90nm及以上工艺节点的套刻精度量测设备已实现批量销售。对应2Xnm工艺节点量测需求的型号设备已取得突破和进展，已通过国内头部客户产线验证，获得多个国内领先客户的订单。

（来自：东方财富网-华金证券）