晶洲装备：国产首台氢氟酸清洗量产设备顺利进入客户端

4月16日，苏州晶洲装备科技有限公司（简称：晶洲装备）自主研发生产的国产首台氢氟酸清洗(HF Cleaner)设备在客户端顺利进入。

氢氟酸清洗作为显示制程中的关键环节，其清洗效果直接影响到器件结构的最终性能、效率与稳定性，关系到最终产品的良品率。氢氟酸清洗不仅要去除有源层表面的杂质而且要使表面钝化，从而减少界面杂质的吸附能力，对表面的洁净度要求非常严格，理论上不允许存在任何颗粒、金属离子、有机粘附、水汽以及氧化层，对表面要求具备原子级的平坦度，保障后制程的工艺可靠性。

在此之前，HF Cleaner生产厂商都是日韩厂商。此次国产首台HF Cleaner设备的顺利进入客户端，一方面完善了产业结构，稳定了供应链，另一方面以先天的本地化优势，在近距离进行以客户为导向的创新与密切合作，用快捷高效的服务解决客户的后顾之忧，为产品带来更好的综合竞争力。

（来自：原创 Kzone 晶洲装备）